Новосибирский научный институт будет производить жидкий азот
Оборудование для этого он закупит на средства государственного гранта.
Институт физики полупроводников имени А.В. Ржанова СО РАН в 2023 году получит субсидию в размере 113,5 млн рублей, которую потратит на покупку высокотехнологичного оборудования. Самым дорогим приобретением станет установка для производства жидкого азота с системой автоматической подачи. По словам замдиректора института по научной работе Александра Милёхина, установка должна покрыть все потребности ИФП в жидком азоте. Жидкий азот используется при создании полупроводниковых структур методом молекулярно-лучевой эпитаксии, который позволяет контролировать состав создаваемых структур на уровне отдельных атомов.
Кроме этого, как стало известно 18 января, в институте намерены приобрести 3D-профилометр — специальный микроскоп для высокоточного измерения поверхности и шероховатости пленок и структур, а также атомно-силовой и сканирующий электронный микроскопы и установку термической обработки полупроводниковых пластин, нужную для создания материалов на основе кремния. Как подчёркивают в ИФП СО РАН, 50% закупаемого оборудования — российского производства. «Например, атомно-силовой микроскоп полностью сделан компанией NT MDT Spectrum Instruments — это флагман отечественного научного приборостроения, одна из самых успешных наукоёмких компаний в России», — отметил Александр Милёхин.
Фото Валерия ПАНОВА